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為了提高超薄銅管退火石墨載具的整體強(qiáng)韌性

作者:jcshimo 發(fā)布時間:2021-08-27 14:34:50


超薄銅管退火石墨載具滲碳是為了提高超薄銅管退火石墨載具的整體強(qiáng)韌性,即超薄銅管退火石墨載具的工作表面具有高的強(qiáng)度和耐磨性。硬化膜沉積技術(shù)目前較成熟的是CVD、PVD。

超薄銅管退火石墨載具自上個世紀(jì)80年代開始采用涂覆硬化膜技術(shù)。

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